Quy mô của các nhà máy điện mặt trời liên tục tăng dần trong thập kỷ qua với những kỷ lục công suất lắp đặt gây ấn tượng. Sau đây là mốc thời gian ra đời các nhà máy điện mặt trời đạt công suất lớn nhất thế giới kể từ năm 1982, tính theo công suất megawatt (MW).
1982: Lugo (Hoa Kỳ) - 1 MW
1985: Carrisa Plain (Hoa Kỳ) - 5.6 MW
2005: Bavaria Solarpark/Mühlhausen (Đức) - 6.3 MW
2006: Erlasee Solar Park (Đức) - 11.4 MW
2008: Olmedilla Photovoltaic Park (Tây Ban Nha) - 60 MW
2010: Sarnia Photovoltaic Power Plant (Canada) - 97 MW
2011: Huanghe Hydropower Golmud Solar Park (Trung Quốc) - 200 MW
2012: Agua Caliente Solar Project (Hoa Kỳ) - 290 MW
2014: Topaz Solar Farm (Hoa Kỳ) - 550 MW
2015: Longyangxia Dam Solar Park (Trung Quốc) - 850 MW
2016: Tengger Desert Solar Park (Trung Quốc) - 1.547 MW
2019: Pavagada Solar Park (Ấn Độ) - 2.050 MW
2020: Bhadla Solar Park (Ấn Độ) - 2.245 MW
2022: Talatan Photovoltaic Industry Park (Trung Quốc) - 8.430 MW